隔膜閥PARKER選型參數(shù)MV-20-04-0606
特點(diǎn)應(yīng)用:
均勻分布的閥座密封力使膜片和閥座應(yīng)變更小化,同時(shí)穩(wěn)定閥的背壓能力
? 更大化膜片厚度、更小化滲透的潛力,同時(shí)大限度地延長(zhǎng)循環(huán)壽命。
? 自動(dòng)排水設(shè)計(jì)有助于在開環(huán)系統(tǒng)中使用腐蝕性流體。
? 符合SEMI-F55-0301的聚合物組分標(biāo)準(zhǔn)
? 環(huán)境溫度范圍:0°F至+150°F(-17°C至+66°C)
? 流體溫度范圍:0°F至+266°F(-17°C至+130°C)
? 全功能應(yīng)用設(shè)計(jì)從真空到100psig
派克漢尼汾MV-20系列是一種PTFE含氟聚合物手動(dòng)隔膜閥,用于研磨漿料介質(zhì)的流動(dòng)控制和半導(dǎo)體和潔凈區(qū)域應(yīng)用中的侵蝕性流體控制.MV-20系列還適用于廣泛的其他清潔區(qū)域處理和分析應(yīng)用
端口連接類型: 3/8” Parflare
這一點(diǎn),加上一個(gè)整體的PTFE隔膜,為閥門提供了很好的靈活性和更大的循環(huán)應(yīng)用,可用壓力在100 psig。閥門本身也非常緊湊,這使得運(yùn)營(yíng)商能夠節(jié)約關(guān)鍵潔凈室和工廠輔助空間。
MV-20系列的傾斜和圓形流動(dòng)路徑,加上圍繞其隔膜的開放的和掃掠的碗狀形狀,大限度地減少湍流并以免可能引起流體剪切應(yīng)力的銳角。這減少了顆粒包封,并提供了增強(qiáng)的抗腐蝕保護(hù)。
的來(lái)說(shuō),MV-20系列閥門的設(shè)計(jì)使得它適合于處理研磨磨料和腐蝕性漿液,例如在半導(dǎo)體制造中采用的CMP(化學(xué)機(jī)械平坦化或化學(xué)機(jī)械拋光)中出現(xiàn)的那些流體。MV-20系列還適用于廣泛的其他清潔區(qū)域處理和分析應(yīng)用,例如控制酸、化學(xué)品和去離子水的流動(dòng)。
MV-20系列的內(nèi)部(閥座)密封是氦氣泄漏測(cè)試,以實(shí)現(xiàn)在潔凈區(qū)應(yīng)用中的性能和穩(wěn)定性,其中高泄漏完整性和顆粒生成更小化更為重要。
流體接觸材料: PTFE, Modified PTFE
作為儀器儀表流體控制系統(tǒng)技術(shù)的行業(yè)先行者,派克漢尼汾MV-20系列是一種PTFE含氟聚合物手動(dòng)隔膜閥,用于研磨漿料介質(zhì)的流動(dòng)控制和半導(dǎo)體和潔凈區(qū)域應(yīng)用中的侵蝕性流體控制。閥的流動(dòng)路徑設(shè)計(jì)產(chǎn)生更小的壓降,這允許上游的較低的壓力要求和改進(jìn)的流體流動(dòng)動(dòng)力學(xué)。它具有兩通和三通兩種配置類型,以及三通徑大小可選(1/4英寸,1/2英寸,和1英寸)。端口尺寸范圍從1/4到1-1 / 4英寸可選,并且可以提供Parflare, Pargrip或者是Pillar S300本體端接口.
流量控制: 1/4 TURN
非流體接觸材料: 聚偏氟乙烯 PVDF, 氟橡膠Viton, 帶有聚四氟乙烯涂層的不銹鋼彈簧
額定壓力: 27? HG vacuum (913 mbar) - 80 PSIG (5.5 bar)
隔膜閥PARKER選型參數(shù)MV-20-04-0606