流量傳感器-選用美國(guó)霍尼韋爾
AWM3000 系列氣體質(zhì)量流量傳感器， 放大， 流量/壓力范圍：+ 200 sccm; 直形端口式。
同 AWM2000 系列一樣，惠斯頓雙電橋控制氣體流量測(cè)量。AWM3000 系列經(jīng)過(guò)放大；因此，該系列可用于增加增益和將電壓偏置引入傳感器輸出。加熱器控制電路和傳感橋供電電路位于封裝電路板上。
所有氣體質(zhì)量流量傳感器均通過(guò)熱交換運(yùn)行——流動(dòng)和壓差。
硅芯片設(shè)計(jì)源自薄膜、隔熱橋結(jié)構(gòu)，包含加熱和熱敏組件。
這可以對(duì)空氣或氣體流量和方向作出快速響應(yīng)，提供相應(yīng)的輸出電壓。
放大型能提供更強(qiáng)的輸出信號(hào)和更少的外部電路，而未放大型可選擇更多的外部電路。
霍尼韋爾提供：
微橋質(zhì)量空氣流量傳感器運(yùn)行關(guān)于傳熱理論。塊氣流被引導(dǎo)穿過(guò)表面?zhèn)鞲性?/p>
輸出電壓變化與質(zhì)量空氣或其他物質(zhì)成比例氣體流過(guò)入口和出口的包。
特別設(shè)計(jì)住房指導(dǎo)和控制穿過(guò)微結(jié)構(gòu)的氣流感覺(jué)元素。
機(jī)械設(shè)計(jì)包裝允許它輕松安裝印刷電路板。
微橋質(zhì)量氣流傳感器具有基于技術(shù)的硅芯片微結(jié)構(gòu)技術(shù)。
它包括薄膜，隔熱橋結(jié)構(gòu)包含加熱器和溫度傳感元件。
橋梁結(jié)構(gòu)提供敏感和快速的響應(yīng)對(duì)空氣或其他氣體的流動(dòng)芯片。
雙傳感元件定位在中央供暖的兩側(cè)元素表示流向以及流量。
激光修整厚膜和薄薄膜電阻器提供一致的互換性從一個(gè)設(shè)備到下一個(gè)設(shè)備。
的芯片設(shè)計(jì)、制造工藝和微結(jié)構(gòu)技術(shù)
加快響應(yīng)時(shí)間并實(shí)現(xiàn)更低的功耗
多種端口類型，提供更高的應(yīng)用靈活性
系列名稱 AWM3000
流量/壓力范圍 + 200 SLPM
整個(gè)溫度范圍內(nèi)的零位 ±25.0 mV dc
可重復(fù)性 ±0.50% 讀數(shù)
響應(yīng)時(shí)間 典型值 1 ms，大值 3 ms
接口類型 直形
功耗 典型值 50 mW，大值 60 mW
補(bǔ)償溫度范圍 -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
介質(zhì)兼容性 僅干燥氣體
沖擊 100 g 峰值（5 次下降，6 軸
流量傳感器-選用美國(guó)霍尼韋爾
